压阻式高量程微加速度计的设计

龚珊; 徐晓辉; 郭涛; 王春水

doi:10.15892/j.cnki.djzdxb.2014.01.007

2014 , Vol. 34 >Issue 1: 158 - 161

DOI: https://doi.org/10.15892/j.cnki.djzdxb.2014.01.007

摘要

为了满足过载环境对高量程加速度计的需求,设计了一种高量程微加速度计。通过对敏感结构建立数学模型及Ansys静力学仿真,确定了该加速度计的总体设计,最后对加工完成的加速度计进行了测试。结果表明,该加速度计的灵敏度为193.3µV/g,在受到10000g以上的加速度作用时仍能正常工作,能够满足实际需要。

关键词： 高过载; 高量程; 微加速度计; 压阻效应; 仿真

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龚珊 , 徐晓辉 , 郭涛 , 王春水 . 压阻式高量程微加速度计的设计[J]. 弹箭与制导学报, 2014 , 34(1) : 158 -161 . DOI: 10.15892/j.cnki.djzdxb.2014.01.007

Abstract

A high-range micro-accelerometer was designed to meet the requirement of overload environment. The mathematical model for the structure was proposed, and then the mechanical property was simulated. Finally, the test results were presented. It shows that the the sensitivity of the accelerometer is 193.3µV/g, and it can work normally in overload environment.

Key words： overload; high range; micro accelerometer; piezoresistive; simulation

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