Study on Electro-explosive Properties of MEMS Explosive Energy Exchangers in Different Bridge Zones

  • WANG Feng ,
  • HOU Xinpeng ,
  • PENG Zhiling
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  • College of Mechatronics Engineering, North University of China, Taiyuan 030051, China

Received date: 2022-04-17

  Online published: 2025-05-29

Abstract

In order to study the influencing factors of the electro-explosive characteristics of the thin film transducer, the electrothermal simulation of the thin film transducer of different bridge structures was carried out to analyze the influence of the change of bridge structure on its electro-explosive characteristics, and the electro-explosive experiment was carried out to compare the simulation results. The following conclusions were drawn: the film energy converter of inverted V-shaped bridge area has high electro-explosive output energy, short response time and stable electro-explosive performance. The energy utilization rate of hexagonal structure is higher than that of square bridge, and the energy utilization rate of curved structure is the lowest.

Cite this article

WANG Feng , HOU Xinpeng , PENG Zhiling . Study on Electro-explosive Properties of MEMS Explosive Energy Exchangers in Different Bridge Zones[J]. Journal of Projectiles, Rockets, Missiles and Guidance, 2022 , 42(4) : 12 -16 . DOI: 10.15892/j.cnki.djzdxb.2022.04.003

0 引言

爆炸换能元是指应用在爆炸箔起爆系统中的薄膜换能元,薄膜换能元作为微机电系统(micro electro-mechanical systems, MEMS)火工品的核心部件,采用薄膜工艺制备成型,是MEMS火工品安全性和可靠性的重要影响因素。火工品作为起爆与点火的始发元件,其性能直接影响整个武器系统的安全性和可靠性。薄膜换能元作为MEMS火工品的核心部件,一般采用金属薄膜材料或半导体材料制作的平面电阻,作用时通过输入电流产生热量,并以焦耳热的形式传递,最终实现与含能药剂发生效应,完成起爆作用[1-3]
如今随着MEMS微型化技术的不断发展,对于薄膜换能元也提出了更高的要求,新一代薄膜换能元朝着微型化、尺度化发展,同时要求其电爆时具有较高的输出能量以及较快的响应速度[4-5]。在电爆系统中,换能元桥箔充当着十分重要的作用,它既是实现能量转换的载体,也是换能元起爆序列传送的枢纽[6]
为优化薄膜换能元性能,大量的学者对基底材料、桥箔材料与桥区结构等进行了研究,但对不同桥区结构的对比研究较少[7-10]。因此,通过对不同桥区结构薄膜换能元进行仿真分析,并搭建样机进行换能元电爆性能测试,揭示薄膜换能元电爆特性受桥区结构的影响规律。

1 薄膜换能元桥区结构仿真研究

1.1 薄膜换能元桥区结构的设计

设计以方形、六边形、曲线形以及倒V形这4种典型桥区结构,来探究不同桥区结构对薄膜换能元电爆发火性能的影响。设计的薄膜换能元以Pyrex7740玻璃作为基底材料,选用铜作为桥箔材料,桥箔整体长5 mm,宽3 mm。设计4种桥区结构如图1所示,桥区结构位于桥箔中心区域,桥区两侧为桥翼,以方形桥区结构(边长0.3 mm)作为整体结构的基础桥形,进而在基础桥形进行不同结构的变换。基础桥区的中心宽度距离保持不变,将桥区两边长度缩短至0.1 mm,得到六边形桥区结构;基础桥区两侧距离保持不变,将桥区上下中心的长度缩短至0.2 mm,做圆弧半径R为0.125 mm的弧,得到曲线形桥区结构;基础桥区两边长度保持不变,将桥区中心的距离缩短至0.1 mm,得到倒V形桥区结构。
图1 桥区结构(单位:mm)

1.2 桥区结构电热仿真

薄膜换能元起爆机理过程包含了桥区由固态经过液态、液态经过气态、最后气态向等离子态转化的复杂物理形态变化[11-13],其中换能元桥箔桥区是其发火部位,影响整体的发火特性。由于桥区部位占比整个桥箔尺寸非常小,为了更好的探究不同桥区结构换能元发火的差异性,去除桥区结构两侧的桥翼,在COMSOL软件进行电爆过程初期阶段固体状态下的焦耳热仿真,细致观察不同桥区结构通电后的热量分布以及桥区最高温度,分析不同桥区结构对薄膜换能元电爆性能的影响。
对于在极短电爆时间内发生相变的桥箔,不考虑桥箔表面发生的趋肤效应,忽略不稳定因素,压力环境设定为常压,考虑与周边空气的散热作用,取热通量对流换热系数为5 W/(m2·K),使用瞬态求解器进行计算。设定仿真初始温度为300 K,在桥箔一端施加接地约束,桥箔另一端施加800 V的交流电进行简化计算,桥箔材料Cu与基底材料Pyrex7740玻璃的参数如表1所示,仿真结果如图2所示。
表1 两种材料的物理参数
材料 密度/(g/cm-3) 熔点/K 比热/(J·(kg·K)-1) 热导率/(W·(m·K)-1) 电阻率/(Ω·m)
8.92 1 084.3 390 401 0.017 2
Pyrex7740玻璃 2.23 1 525 753 1.18 0.075
图2 桥区电热仿真结果(t=0.05 μs)
根据仿真结果可得,方形桥区结构流固热交换位置发生在桥区中心,由于方形桥区结构未作局部处理且桥区结构简单,通电时热量发生叠加导致桥区中心温度最高,热量聚集在桥区中心向四周扩散,故中心位置最先发生流固热交换,同时整个桥区热量分布均匀。六边形桥区结构通电后流固热交换部位发生在桥区两侧,不在桥区中心。曲线形桥区结构流固热交换部位既不发生在桥区中心,也不发生在桥区两侧,而在桥区曲线圆弧处,分析是由于该桥形结构特点造成的,曲线形桥区结构通电后先在桥区中心上下两侧发生流固热交换,随着通电时间的增加,热量累积从而导致桥区圆弧处温度最高。倒V形桥区结构在桥区中心拐角处发生热量聚集,因为桥区中心距离最窄,通电过程中经过桥区结构拐角处的电流密度最大,在该部位产生的热量最多且热量集中,最容易发生断桥。
六边形桥区结构与倒V形桥区结构通电时的热量明显高于方形桥区结构与曲线形桥区结构,倒V形结构桥区中心距离最短,中心拐角位置产生的热量最多并且集中,故与方形桥区结构相比,倒V形桥区结构电爆响应时间短,升温速率快,电爆前期阶段产生的热量多。仿真过程中4种桥区结构升温曲线如图3所示。
图3 不同桥区结构升温曲线
通过仿真结果以及升温曲线分析,在4种桥区结构中,倒V形桥区结构的电爆发火性能最好,爆发时输出能量高,响应速度快;方形桥区结构电爆性能稳定,电爆前期阶段产生的热量分布均匀,响应速度较慢;六边形桥区结构升温从两侧拐角开始,向四周扩散到整个桥区,其电爆前期阶段产生的最高温度大于方形桥区最高温度,升温速率也快于方形桥区升温速率,故六边形桥区结构电爆发火性能比方形桥区结构好;曲线形桥区结构在圆弧处发生热量聚集,通电后生成能量较低,电爆性能最差。

2 电爆试验测试

2.1 桥区结构试验测试系统

电爆试验系统由高压电容、控制芯片、高压触发开关、脉冲功率源以及高压探头示波器等组成,薄膜换能元电爆测试系统如图4所示。
图4 电爆测试系统
理想状态下的电爆试验系统整个回路中除了薄膜换能元这一负载,电路中再无其它电阻以及电感,高压电容提供的脉冲能量全部作用于薄膜换能元上,使电爆系统平稳运行。但在实际系统中,脉冲功率源、高压电容等都存在一定的电阻和电感。所以,当高压电容将充电储存的能量对薄膜换能元负载进行放电时,可以把整个电路等效简化成一个RLC串联电路,如图5所示。此测试系统采用12 VDC输入、对高压电容的充电电压范围500~2 500 V、回路等效电阻183 μF、等效电感230 nH,测试系统满足薄膜换能元电爆性能设计要求。
图5 电爆等效回路

2.2 试验结果

将4种典型桥区结构换能元分别接入测试系统进行电爆试验,设定充电电压为1 000 V,试验结果如图6所示。
图6 桥区结构试验结果
由试验结果可知:电爆系统运行时,高压电容瞬间释放能量输出到换能元桥箔,进入电爆过程初期阶段,随着温度上升,桥箔两端的电阻不断增加,两端电压也不断增加,电流也开始逐渐增加;当桥箔进入汽化阶段,电阻急剧增大,电压也急剧增大,定义电压最大时刻为爆炸时刻,因此电压曲线有十分明显的突起,此时电流曲线会出现短暂的凹陷,随着气体电离产生等离子体,等离子体具有导电性,故电压又逐渐下降。电流曲线由于等离子体的产生从凹坑处数值上升恢复正常,随着电爆结束逐渐下降为零。
电压曲线零纳秒出现峰值与电爆机理不相符,分析原因是由于测试系统放电前期,回路系统振荡波动,过几纳秒之后曲线趋于稳定,平整无毛刺。根据试验结果曲线数据,选取换能元充电电压、爆发电压、爆发电流、爆发时刻等参数进行研究,其不同结构换能元电爆炸参数如表2所示。
表2 不同桥区结构电爆性能参数
桥区
结构
充电
电压/V
爆发
电压/V
爆发
电流/A
电流
峰值/A
爆发
时间/ns
Δt/ns
方形 1 000 495 184 224 394 100
六边形 1 000 521 315 335 317 70
曲线形 1 000 288 197 357 507 180
倒V形 1 000 578 317 335 307 40
表2可知,倒V形桥区结构电爆过程中的爆发电压、电流最大,同时爆发响应时间最短,其电爆性能最好。曲线形桥区结构电爆过程中的爆发电压、电流最小,爆发响应时间也最长,其电爆性能最差。方形桥区结构爆发电压与六边形桥区结构爆发电压相差不大,由于方形桥区结构简单,通电时热量发生叠加向四周扩散,电爆过程中整个桥区热量分布均匀,故方形桥区结构的爆发电流小于六边形桥区结构,爆发响应时间比六边形桥区结构滞后。六边形桥区结构电爆性能好于方形结构,二者性能差距不大,与电热仿真结果一致。
定义曲线图电压峰值为换能元爆炸时刻,当爆炸时间与电流曲线峰值时间差值Δt越小,说明换能元电爆过程中的能量损耗越小,能量利用率越高。故这4种桥区结构中,倒V形桥区结构电爆时能量利用率最高,六边形桥区结构能量利用率比方形桥区桥结构高一些,曲线形桥区结构的能量利用率最低。

3 结论

对于微结构薄膜换能元来说,其桥区尺寸在微米量级,其结构对薄膜换能元电爆性能有重大影响。贴合实际设计4种典型桥区结构,来探究桥区结构对薄膜换能元电爆性能的影响。经过仿真与试验结果表明:
1)不同桥区结构最先发生流固热交换的位置不同,即桥区热量集中的位置不同,其中方形桥区结构热量集中在桥区中心,六边形桥区结构热量集中在桥区两侧,曲线形桥区结构热量集中在桥区曲线圆弧处,倒V形桥区结构热量集中在桥区中心拐角处。
2)不同桥区结构对薄膜换能元的电爆性能具有显著影响,倒V形桥区结构爆发响应时间最短,电爆性能最好;曲线形桥区结构爆发响应时间最长,电爆性能最差;方形桥区结构爆发响应时间比六边形桥区结构滞后,六边形桥区结构电爆性能优于方形桥区结构。
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